THK、半導体製造装置向け新型免震台を発売 中小地震から大地震まで対応する新機構

THKは、半導体製造装置の縦型炉向けの地震対策となる新型の免震台「縦型炉用新型免震台｣を発売した。これまでの半導体製造装置の縦型炉向け免震台は、大地震が発生した際に縦型炉本体の損傷を防いで機能を維持することを目的としており、発生頻度が高い中小地震では […]
情報元サイト：「オートメーション新聞WEB」
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