コンパクトな設計と高い生成物耐性を備えた燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を開始

コンパクトな設計と高い生成物耐性を備えた燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を開始

2024年12月09日

燃焼式排ガス処理装置LPCMN型

荏原製作所(以下:荏原)は、半導体製造におけるプロセスガスの無害化処理を行う燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を、2025年1月から開始いたします
情報元サイト:「株式会社荏原製作所」
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